(Vapor-deposited-oxide, VAPOX) Ein glasähnliches Material, das Halbleiterhersteller zum Schutz vor Verschmutzung und Beschädigung auf eine fertige Halbleiterscheibe aufbringen. Es wird hierzu in eine Dampfphase gebracht, aus der es sich auf die S...
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https://www.computer-automation.de/lexikon/?s=2&k=A&id=24637&page=1
(Vapor-deposited-oxide, VAPOX) Ein glashnliches Material, das Halbleiterhersteller zum Schutz vor Verschmutzung und Beschdigung auf eine fertige Halbleiterscheibe aufbringen. Es wird hierzu in eine Dampfphase gebracht, aus der es sich auf die Scheibe niederschlgt und dort kondensiert.
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https://www.elektroniknet.de/lexikon/?s=2&k=A&id=24637&page=1
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